半導体の製造工程における薬液処理は、表面処理の均質性に影響し、歩留まりを左右する重要な工程であるため、薬液の厳密な管理が求められています。従来は、薬液が流れる配管自体に直接センサーユニットを接続、もしくは測定ユニットへ送液するために配管を分岐し、薬液濃度を測定する方法が主流でした。しかしこれらの接触型の薬液濃度管理では、さまざまな課題が生じてしまいます。
・薬液のコンタミネーション発生
薬液へのコンタミネーションは、半導体製品の品質に関わるため、避けなければなりませんが、薬液濃度センサからの物質析出や、配管施工が原因で、不純物が混入する可能性があります。
・薬液濃度計導入時の配管施工が負担になる
接触型の濃度管理の場合、洗浄装置への取り付けの際に、配管施工等が必要になり、施工費や人件費がかかってしまいます。
・薬液漏れ等のリスク
洗浄に使用される薬液の中には、人体に触れると有害な物質が多く存在します。濃度計を設置、取り外しする際に、薬液が付着してしまい事故に繋がる可能性があります。
弊社でもお客様から上記の課題に関するご相談をよくいただきます。
上記の課題を解決し、安全な測定を実現するのが、非接触型の薬液濃度モニタです。
【特長】
✔ コンタミネーション発生の心配がない
✔ 配管施工がいらず、配管にクリップするだけ
✔ 薬液漏れ、それに起因する事故リスクを低減できる
HORIBAの非接触型薬液濃度モニタ CS-900は、センサーユニットが特徴です。配管の周辺にかぶせるだけで設置できるため、薬液の非接触測定ができます。これにより、薬液漏れとコンタミネーションの発生要因を排除し、安全で安定した測定を実現します。
■据付けイメージ
【本製品はこのような方におすすめです】
・新しい薬液濃度計を探されている方
・薬液濃度管理のプロセスを改善したいと感じられている方
・薬液濃度の品質保持に不安を感じられている方
製品の詳細については、以下より製品ページをご覧下さい。
ご質問やご不明点等ございましたら、ぜひお気軽にお問い合わせください。