CS-100シリーズ

薬液濃度モニター

ウェットプロセスに用いる各種薬液用の薬液濃度モニターシリーズです。

約100種類以上のアプリケーションの中から薬液に最適なモデルを選択可能です。各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングをお知らせ。短い測定周期の実現により、濃度変化に対しても忠実に追従します。

 

薬液濃度

交流フリー電源(100~240V)伝送出力接点出力RS-232C複数成分

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

リアルタイムの濃度追従性

約3秒の測定周期で300mmプロセスの濃度管理を実現。様々な方式の洗浄装置のきめ細かな濃度管理をサポートします。

簡単管理

測定はフルオートで、測定開始後の制御は一切不要です。ユーザーは薬液を導入するだけという簡単管理を実現しました。また、参照スペクトル測定は空気を使用するため、日常測定ではユーティリティとしての水は不要です。

気泡対策

脱泡機能を内蔵し、フローセル直前で気泡を分離。液を流した状態での連続測定が可能です。

外形寸法図・他(単位:mm)

お問い合わせ

* 項目は必ずご記入ください。