HE-960H-TM-S

HE-960H-TM,HE-960H-KOH,HE-960H-TM-S

高精度TMAH濃度モニター

現像液TMAHの濃度管理に最適な高精度TMAH濃度モニターです。

耐薬性の高いカーボンセンサーを採用し、フォトレジスト現像液の主成分TMAH溶液の高精度測定が可能です。

 

COND薬液濃度

交流フリー電源(100~240V)伝送出力接点出力単成分

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

高精度

濃度:0 - 3%、導電率: 0 - 1000 mS/cm、繰り返し性 ±0.003wt%以内でTMAH濃度測定が可能

表示レンジ自動切替

高濃度から低濃度まで表示レンジを自動で切り替えします。また、有効な導電率分解能を維持しながら、変化をモニターすることも可能です。

3種測定

TMAH濃度・導電率・温度の3種類の測定が可能です。

濃度換算機能

薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。

 

型式HE-960H-TM-S
薬液種TMAH
測定範囲濃度: 0 - 3%, 導電率: 0 - 1000mS/cm
繰り返し性+/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて)
直線性+/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて)
伝送出力4点
接点出力5点
通信出力RS-485
電源仕様24V DC +/- 10% 10W
適合センサFES-510 Series
センサ接液部材質GC, PFA, Karletz®

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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