GA-370

痕量气体分析仪

用于监测空气分离和半导体工厂制造的高纯度气体的质量管理

GA-370 为气体生产设施的质量管理提供连续的,高灵敏度及高精度的微量杂质(CO, CO2, CH4)监测。

事业部: 过程与环境
产品分类: 空气质量

高灵敏度的监测

  • 采用交替流动调制型双光束非分散红外吸收法(NDIR),零点稳定,无漂移。
  • 检测下限(MDL)为10 ppb,可支持需要高精度测量的应用。

 

高纯气体中微量杂质的监测

  • 可应用于典型平衡气体如:氮气,氧气,氦气,氩气,氢气和空气。

 

操作简便,免维护

  • 操作简便的屏幕菜单简化了分析仪的校准和测量等各项操作。
  • 无需光学调整。
  • 触摸式彩色液晶显示屏(LCD)能够以图表方式显示历史数据。

 

典型应用

一般情况下,工业气体如氧气和氮气,是由空气分离设备制造的。将除去水分(H2O)和二氧化碳(CO2)的原料空气通入分离装置,利用氮气(N2)、氩气(Ar)和氧气(O2)三者沸点不同分离出不同气体。同样地,空气分离设备也能制造其他稀有或惰性气体,如氢气(H2)和氦气(He)。

HORIBA 的 GA-370 痕量气体分析仪能有效测量分离后气体中的杂质,保证了气体质量。

测量原理

交替流动调制型双光束非分散红外吸收法

GA-370 痕量气体分析仪内置的红外光源的光束通过气室到达检测器。在测量过程中,电磁阀交替地将样气和参比气体引入到分析仪的测量气室中。

与气室中充满参比气体时的情况相比,当气室中充满样气的时候,样气中的CO、CO2  以及CH4 会引起到达检测器的光强度的不同。检测器检测到的两种气体对光的吸收差异,使检测器薄膜发生偏转而振动。采用这种测量技术能省去光学斩波器和光学调整的需要,消除零点漂移,提高了灵敏度。

相关应用

Monitoring of Impurity in Hydrogen Gas for FCV

型号 GA-370
测量组分 CO, CO2, CH4
高纯气体种类 N2, O2, He, Ar, H2, 空气

测量组分数

 

1~2种(由平衡气体种类决定)

测量原理 交替流动调制型双光束非分散红外吸收法 (NDIR)
量程 0 ~ 1/2/5/10 ppm
检测下限 (2σ) 10 ppb
重复性 ≤ ± 2% F.S.
指示误差 ≤ ± 2% F.S.
零点漂移 ≤ ± 0.02 ppm/天, ≤ ± 0.03 ppm/周
量程漂移 ≤ ± 2% F.S. /天, ≤ ± 2% F.S. /周
响应时间 (T90) 

≤ 180s

样气流量 

样气:约3.5L/分钟,

参比气体:约3.5L/分钟,

标准气体:约3.5L/分钟;

注:样气和参比气的推荐输送压力值为50~100kPa

模拟输出

 

最多可选两路绝缘输出(2组分);

从0~1V,0~10V,0~16 mA,4~20 mA或0~20 mA中选择一个

电流输出:最大负荷电阻≤750Ω

安装条件环境温度0 ~ 40°C
环境相对湿度≤85%
粉尘低于环境空气基准 
振动在 ≤ 100Hz情况下 ≤ 0.29m/s²  
外形尺寸和重量 430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括凸起部分),约18 kg
电源 100~240 V AC,≤±10% (最大电压:250 V AC)

功耗

 约 100VA
用于实验室研究测试气体生成
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