XGT-9000

微区X射线荧光分析仪

微区 X 射线荧光光谱技术革新,实现速度与灵活性兼备的优异性能

   

  • 具备超高灵敏度,元素检测覆盖范围广
  • 搭载荧光 X 射线与透射 X 射线双类型探测器
  • 配备超高强度毛细管,可实现 ≥10μm 级的光斑尺寸检测
  • 采用高分辨率相机,支持多种照明模式
  • 软件界面用户友好,操作灵活便捷

 

  

制造商: HORIBA, Ltd.

超高灵敏度,元素检测覆盖范围广

XGT-9000 Pro 配备先进的新型检测系统,灵敏度更高,而 XGT-9000 Expert 则能提供超高的灵敏度与超宽的元素检测范围。灵敏度提升可缩短测量时间、提高工作效率,更宽元素检测范围可拓展应用可能性。

(左)铜强度对比(右)超轻元素强度对比
[1][2] 所有结果均通过将 XGT-9000 Pro/Expert 与 HORIBA 常规 X 射线荧光光谱仪各型号对比得出。

 



多探头可选实现高质量宏观与微观成像

XGT-9000 系列性能卓越、灵活性强,这得益于精心设计的激发系统。它配备高输出X射线发生器,电压最高达 50 kV,电流最高达 1000 µA。探头光斑尺寸可在 10 微米至 1.2 毫米间灵活调节。仪器支持配置多个探头,通过软件就能轻松切换。这样既能保证大面积测绘的空间分辨率和测量效率,又能实现宏观与微观层面的高质量快速成像。此外,该系列还提供 15 微米和 100 微米两种超高强度探头供选配。

采用多探头对青金石进行元素层析成像
(左图)使用 100 微米超强强度探头进行快速扫描。(右图)使用 15 微米超强强度探头进行细节成像

 



配备荧光 X 射线与透射 X 射线双模式探测器

XGT-9000 系列支持双模式探测器:荧光 X 射线探测器能呈现样品元素分布;透射 X 射线探测器则可解析样品内部结构。设备能同步获取同区域中两种成像数据,有助于深入解析电子元器件、含包裹体的宝石标本及生物样品的微观特征。

印刷电路板元素成像与透射 X 射线同步成像
(Left)(左图)元素分层成像揭示集成电路芯片下方附着异物。(右图)透射 X 射线成像显示集成电路芯片下方存在大量空隙。

 



高分辨率卓越光学成像

获取清晰图像是微区 X 射线荧光分析的关键。XGT-9000 系列配备高分辨率相机系统,既能捕捉样本整体形貌,又能呈现微观尺度的精细结构。两种成像模式均支持数字缩放功能,可灵活调整样本表面最佳分析位置。此外,多照明系统的配置确保获得目标样本的高品质光学图像。

(左) 整体图像                                                                                           (右) 局部细节

高分辨率苍蝇显微图像,光学细节清晰鲜明

 



可适用多种样品

XGT-9000 系列可应对各类样品,如微型碎片、印刷电路板、硬币、片材、粉末、液体及晶圆。可配备多种样品支架。此外,系统最多支持选择 4 种测量环境以提升检测灵敏度。

应用广泛的样品仓

 



界面友好、且操作灵活便捷的软件

XGT-9000 软件(HORIBA X-RAY LAB)界面灵活且友好。它能清晰显示数据、光学图像、光谱结果、元素周期表和图谱成像结果。得益于其灵活性,用户可以自定义屏幕布局。此外,分析结果能在多台显示器同步显示,帮助研究人员更清晰地查看结果,提升分析效率。检测结果可生成报告、打印或导出为 Excel、Word 和 PDF 格式。

XGT-9000 软件在双显示器上的布局示例

 

除标准软件功能外,还可添加高级模块,以提供更全面的用户体验。

  • 用于含标准样品/非标准样品厚度测量的多层薄膜分析法模块
  • 针对 RoHS 检测的环保合规筛选模块
  • 无人值守模式下自动化批量测量的队列任务模块
  • 用于颗粒分析及共定位分析的颗粒识别模块
  • 用于将数据传输至 LabSpec 6 进行多元分析的数据传输模块

 



用户文章

 



应用案例

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产品视频

  

  
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样品转移装置,对空气敏感的样品可选此配件进行精准分析

  
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型号
XGT-9000
XGT-9000 ProXGT-9000 ExpertXGT-9000 SL

基础信息

  仪器设备

X 射线荧光分析仪

  原理能量色散 X 射线荧光光谱分析
  可检测元素*F (9) - Am (95)B (5) - Am (95)F (9) - Am (95)
  有效样品室尺寸450 mm (W) x 500 mm (D) x 80 mm (H)mm1030mm(w) x 950mm(D) x 500 mm(H)
  最大扫描区域100 mm x 100 mm on 300 mm (W) x 250 mm (D)350mm x 350mm

 样品观测

   光学观测两个高分辨率相机
   整体图像
   细节图像
5M像素,视场: 100 mm x 100 mm
5M像素,视场: 2.5 mm x 2.5 mm
5M像素,视场: 350 mm x 350 mm
5M像素,视场: 2.5 mm x 2.5 mm
   光学设计垂直X射线和光学观测并同轴
   样品照明/观察顶部、底部和侧向照明/明场和暗场

 X-ray 发生器

   功率最大 50 W
   管电压最大 50 kV
   管电流最大 1 mA
   靶材铑(Rh)

X 射线导管(X 射线头)

  X射线头(束斑)选择可提供多种X射线头组合 (例如15μm高强X射线头和100μm高强X射线头的组合)

检测器

   荧光X射线检测器非液氮制冷硅漂移检测器(SDD)
   透射X射线检测器NaI (Tl)

工作模式

  样品检测环境全真空
局部真空
大气
氦气净化(可选)
全真空
局部真空
局部真空
大气
氦气净化(可选)

仪器外形尺寸(主机)

  尺寸680 mm (W) x 860 mm (D) x 760 mm (H)1090 mm (w) x 1380 mm(D) x 1820 mm(H)
  质量约 200 kg500 kg

*在全真空条件下

尺寸(单位:毫米)

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