HORIBA 提供多样化的产品满足流体测量和控制要求。

HORIBA 可为各种制程和研究实验室提供对气体和液体的精确测量和可靠控制。HORIBA 是公认的高性能质量流量计、质量流量控制器、自动压力控制器和液体汽化系统的领先制造商，前述产品在尖端半导体制造行业中被广泛使用。

质量流量控制器是一种不受使用条件或气体压力变化的影响，以电信号形式发送设定流量，自动控制气体的流量的设备。流量大致可分为两类：体积流量和质量流量。体积流量测量受环境温度和压力的影响。为了看到真实的流量，压力和温度条件需要严格控制，从而提供更准确和稳定的流量测量和控制。当需要精确控制流量或建立自动化生产线时，我们的质量流量控制器作为不可或缺的设备广泛用于工业领域。

结构及工作原理

这些质量流量控制器有一个流量测量部分，包括一个传感器，旁路，流量控制阀，和特殊电路。
气体从入口接头流入后被分开，使其流过流速传感器和旁路。传感器测量气体的质量流量，流量控制阀对流量进行修改，使测量的流量与接收到的外部流量设定信号的流量之差为0（零）。
该装置具有闭环控制电路，因此即使存在二次压力变化或环境温度变化，可能会影响引入气体的供应压力，流量也会立即校正，从而确保稳定的流量控制。

工作原理

1. 气体从入口进入，首先分裂流过传感器或通过旁路。
2. 在传感器中，质量流量被检测为温度的比例变化，并通过桥电路转换为电信号。
3. 该信号通过放大和校正电路，输出为0至5V的线性电压。同时，它也被送到比较控制电路。
4. 比较控制电路将来自传感器的流量设定信号与实际流量设定信号进行比较，并向阀门驱动电路发送差值信号。
5. 调整流量控制阀开度使所需流量设定点和流量输出信号之间的差异接近于零。换句话说，整个控制电路控制流量，使其始终处于设定的流量。

数字质量流量控制器如图所示。
这些质量流量控制器有一个流量测量部分，包括一个传感器，旁路，流量控制阀，和特殊电路。中央处理器是电路的一部分，这使得它既多功能又高效。
该装置具有闭环控制电路，因此即使存在二次压力变化或环境温度变化，可能会影响引入气体的供应压力，流量也会立即校正，从而确保稳定的流量控制。

冷却测量法

LF-F/LV-F 系列液体精密质量流量控制器中的流量传感器由与毛细管接触的电子制冷元件（帕尔帖元件）以及若干温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测与流量对应的温升（⊗T），并将其显示为流量。与加热法不同，这种冷却法能够测量沸点较低液体的流量。它还可以避免因二次汽化影响而产生的干扰问题，从而实现准确的流量测量。

结构／工作原理

LV-F 系列质量流量控制器在结构上与 LF-F 系列质量流量计相似，但额外集成了压电陶瓷阀和内部比较控制电路。该电路持续对比设定流量信号与实际流量输出信号，并自动调节阀门开度，使两者保持一致。凭借反馈控制系统，外部因素不会引起流量波动，从而实现稳定、高精度的流量控制。由于采用既稳定又不发热的压电陶瓷阀作为控制阀，该系列特别适用于低沸点液体的流量控制。

注射法

下列清单列出了将液体源气化并将其输送到工艺腔室的主要步骤。

1. 先测量液态源的流量，再由阀门根据测量结果进行反馈控制，从而精确调节液体的供给量。

2. 液体被瞬间且完全汽化。

3. 气体一经生成即被释放，以防其重新冷凝成液态

采用注射法的汽化系统按顺序执行上述步骤 1→2→3。
VC 系列：直接汽化，用质量流量计测量汽化气体的流量，无需载气。
MI/MV 系列：用质量流量计测液量的同时，通过内置质量流量控制器引入载气，完成液源的汽化与输送。

气液混合法

这是用于 MI/MV 系列的汽化方法。由于载气在喷射器内喷嘴前端的压力较高，可以被高效加热。液体源与加热后的载气在喷嘴前端的气液混合区混合，随后通过喷嘴时压力降低，使混合物汽化。与传统汽化方法相比，汽化效率更高。采用该方法时，可在更低温度下实现更大流量输出。