EC-5000 系列

Exhaust Pressure Controller EC-5000 Series

排气压力控制器

EC-5000 系列排气压力控制器可将处理室的压力值维持在客户设定的范围。高分辨率步进电机和蝶阀设计确保对任何压力变化做出快速、灵敏的响应。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

优点:

  • 适用于高真空环境:不锈钢机身
  • 抗腐蚀:PTFE 机身可选
  • RoHS 标准

当排气流量被调整到适合水平:

  • 抗蚀剂以薄膜形式均匀分布
  • 防止烟雾的二次沉积
  • 防止危险蒸气扩散

与流量传感器控制相比,由抗蚀剂和其他污染物累积引起的灵敏度变化较小,同时消除了湍流和其他噪声的影响,确保控制精准、稳定、迅速。

Model                   EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

* This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.

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光伏制造过程的过程控制与现场测量
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