HZ-960

Dissolved Ozone Monitor HZ-960,H2O2 Monitor HZ-960HPO-M

溶存オゾンモニター

半導体デバイス、液晶・ガラスのウエット処理プロセス向けの溶存オゾン濃度モニターです。

低濃度薬液処理に対応するため、最大500ppmまでの幅広い溶存オゾン濃度測定に最適です。

 

O3

DC24V伝送出力接点出力低濃度

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

豊富な測定レンジ

オゾン:0-100mg/Lの標準測定レンジに加え、3種類の測定レンジをラインアップ。最適なレンジの提案を行います。

選べる取り合い配管サイズ

標準3/4インチに加え、1/2インチ、1インチから選択可能です。

高い再現性精度・安定性精度

FS+/-0.2%以内の再現性精度

 

製品名溶存オゾン濃度モニタ(変換器)
型式HZ-960
対応検出器ZH-10、ZH-40、ZH-100、ZH-500
測定対象純水中のオゾン濃度
電源DC 24 V ±10% 15 W
構造パネル取り付け屋内設置型
パネルケース:ABS、端子部:PBT
パネル部:防滴構造
保護構造パネル部:IP65(IEC60529、JISC0920)リヤケース:IP20、端子部:IP00
適合規格CEマーキングEMC指令:EN61326-1
FCC規則FCCPart15
外形寸法96(W)×96(H)×115(D) mm、ケース奥行:約105 mm(パネルマウント時)
※検出器:ZH-XXXシリーズの外形寸法は、型式によりますので別途お打合せください
質量約550 g
※検出器:ZH-XXXシリーズ 約2kg

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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