次世代のウェットプロセスへー HORIBAは薬液濃度管理で歩留まり向上・プロセスの最適化へ貢献します。

半導体製造工程における厳しい薬液濃度管理に対応するため、安定した測定精度、作業の安全性を考慮した独自の配管保持構造、コンパクトデザインなど、現場ニーズに最適な高機能化を果たしています。

カラー液晶タッチパネルモデル

■ 測定項目（2チャンネル同時測定・表示可）

CH.1　pH/mV（ORP）/イオン

CH.2　電気伝導率/電気抵抗率/塩分/TDS

HC-200NHは、下水処理や排水処理の硝化プロセスなどのアンモニア除去プロセスに適したイオン選択電極式のアンモニア態窒素計です。チップ交換方式を採用し保守が容易となっており、センサー劣化状態と膜抵抗値との関係から連続測定中に劣化診断機能を搭載し測定値の信頼性が向上しました。
また、新型超音波洗浄器と組み合わせることで長期的な微生物由来の汚れ付着防止を実現しました。オプションの光学式DOセンサも同時接続可能であり、NH₄⁺-N＋DOの組み合わせにより曝気槽のエネルギー効率を最大限に高めます。

【新製品】

下水処理場、工場排水処理施設など、ばっ気槽の管理に。

河川・湖沼・閉鎖性海域等の全窒素・全りん濃度を高精度で測定する装置です。測定試薬の長寿命化、消費電力の削減などにより、ライフサイクルコストの低減を実現しました。

排液・環境水などに含まれる油分濃度を測定する装置です。試料水を注入後、ボタンをひとつ押すだけのワンタッチ操作で、油分抽出から測定・排液までスピーディーに簡単にご使用いただけます。

医薬製造用水などのTOC（全有機炭素）を高精度に連続測定

半導体製造工程で使用される混合液の各成分濃度を最大8成分、リアルタイムに高精度測定します。