光ファイバ式薬液濃度モニタ <CS-600F>

概要

コンパクト設計・高温薬液対応・安定稼働。
次世代のウェットプロセスに必要な機能が1つになりました。

特長

本体のコンパクト化による、レイアウトフリーを実現。

従来モデル(CS-100F1 Series)と比べ、高さ36%減, 容積40%減 、セル部の取り回し占有率幅46%減のコンパクトサイズを実現。さらに光源ユニットとモニタ本体を分離設置が可能なので、薬液供給ユニットや洗浄装置の設置スペースに合わせた自由な配置が可能です。

 

高温薬液(20℃~80℃)のダイレクト・安定測定を実現。

光学系の一新と演算処理の改良により、最先端ウェットプロセスに必要不可欠な高温薬液のダイレクト測定を実現。ユーザーサイドでの薬液の冷却を必要としません。しかもふらつきがちな高温薬液のダイレクト測定を、安定して計測することが可能。薬液管理の効率化・高精度化が実現します。

 

インライン測定でのバックグラウンド補正頻度を大幅に低減。

従来モデル(CS-100F1 Series)から定期補正頻度を大幅に削減し、装置のダウンタイムを大幅に削減。スループットの向上に大きく貢献します。

1台で最大6薬液種(薬液またはレンジ)の測定が可能。

1台のモニタで最大6薬液種(薬液またはレンジ)の測定ができます。測りたい薬液種やレンジを自由に指定できるので、測定ニーズ
に幅広く対応します。

最大6成分の測定値を出力可能。(シリアル出力の場合)

従来モデル(CS-100F1 Series)では4成分だった出力成分(シリアル出力の場合)が、シリアルで最大6成分まで出力可能になりました。また、従来では2成分の出力であったアナログ出力については4成分の出力が可能となりました。


製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

【代表例】

型式

CS-600F

測定原理

吸収分光法

濃度算出原理

温度補償型多変量解析法

測定対象

NH3:0.00~1.20mass%、H2O2:0.00~5.50mass%、
H2O:93.3~100.0mass%

再現性精度

NH3:±0.05mass%、H2O2:±10mass%、H2O:±1.0mass%
薬液温度 ±1℃以内/1時間

試料液温度

20〜80℃

測定周期

約3秒

画面表示
(測定画面)

4行液晶表示
・濃度測定値(%)、濃度警報状態(上上限HH/上限H/下限L/下下限LL)、
・エラーコード(EXXX)、薬液温度(℃)、薬液種切替モード(P/S)、
・バックグラウンド補正失敗回数(CXXX)

キー操作

濃度警報値(上上限HH/上限H/下限L/下下限LL)、濃度測定値シフト量、
バックグラウンド補正、温水補正、温度依存濃度シフト値補正

パラレル入力

フォトカプラ絶縁による電圧入力(12 - 30V DC)
・パラレル濃度警報出力 有効/無効 の選択
・薬液種切替信号入力(バックグラウンド補正を含む)
・温度補正入力

パラレル出力

フォトカプラ絶縁によるオープンコレクタ出力(エミッタ共通)
ON時最大電流:5mA DC(内部保護抵抗なし)
OFF時最大印加電圧:30V DC
・濃度警報(HH/H/L/LL警報時ON)、装置異常(異常時OFF)、
・測定中(測定時ON)、測定対象薬液種(薬液種信号を出力)、
・温水補正応答、ウォーニング(発生時ON)、バックグラウンド補正状態、
・温水補正状態

シリアル入力

RS-232C
・測定データ転送要求、測定対象薬液種指定(バックグラウンド補正含む)、
・温水補正

シリアル出力

RS-232C
・薬液濃度、測定データナンバー、薬液種、エラーコード、薬液温度

アナログ出力

電流4~20mA出力
(ただし、装置異常時、測定停止時、無効薬液種選択時は1.5mA固定)
最大負荷抵抗500Ω

温度センサ入力

端子台取合い(端子ネジM3)、白金測温抵抗体:Pt100 3線式(Class A)
*温度センサはお客様にて準備ください。

計装エア

取合:外径4mmクイック継ぎ手、圧力:0.2 MPa ± 0.02 MPa
*オペレーション、パージ兼用となります。お客様にて準備ください。

電源

100~230V AC(Single-Phase)、50/60Hz

消費電力

約85VA(起動時の過渡的電流は除く)

外形寸法

〈モニタ本体〉200(W)X308(D)X78(H)mm(突起部を除く)
〈サンプルセル〉145(W)X157(D)X137(H)mm(突起部を除く)
〈光源ユニット〉200(W)X262(D)X100(H)mm(突起部を除く)

電源

AC 100V〜230V(単相)±10%、50/60Hz、約100VA

外形寸法

205(W)×329(D)×269(H)mm(突起部を除く)

質量

〈モニタ本体〉約3.6kg、〈サンプルセル〉約1.2kg、〈光源ユニット〉約2.8kg

設置温度

〈モニタ本体、光源ユニット共通〉20~30℃、〈サンプルセル〉20~35℃、
〈光ファイバ〉20~35℃ (急激な室温変化なきこと、±1℃以内/1時間)

設置相対湿度

〈モニタ本体、光源ユニット共通〉40~70%(結露なきこと)

設置傾き角度

〈モニタ本体、光源ユニット共通〉±1°以内

光ファイバ

標準長さ5m、最小曲げ半径150mm

外形寸法図・他(単位:mm)

Dimentions of chemical solution concentration monitor CS-600F

カタログ

製品カタログ

分野別シリーズカタログ

WETプロセス分析装置

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