HF-SP-CU

2-channel High Precision HF Concentration Monitor HF-SP-CU

双通道高精度 HF 浓度计

高精度、高性能的 HF 浓度计支持 +/- 2.0 ppm(最高精度)微制程管理、高速采样和输出、双通道传感器和传感器内压力校正功能。
适用于半导体精细制程控制。

事业部: 半导体
产品分类: 湿法过程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.
  • 高精度:+/- 2.0 ppm(最高精度)
  • 高速采样和输出
  • 双通道传感器实现了对供料槽和腔体的测量
  • 传感器内压力校正功能

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