HE-960LC

Carbon Sensor Conductivity Meter HE-960HC(High concentration type),HE-960LC

カーボンセンサー導電率計

耐薬品性の高いカーボンセンサーを採用した低濃度向けの導電率計です。

半導体製造やFPD製造工程の薬液・純水回収に最適です。耐薬品性の2極式カーボンセンサーを採用することで薬液の導電率を測定し、工程中の濃度管理や薬液の希釈管理、また超純水のリサイクル監視などにも活躍します。

 

COND

DC24V伝送出力接点出力RS-485単成分低濃度

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

耐薬性に優れたセンサー

センサーには耐薬品性の2極式流通型カーボンセンサーを採用しているので、半導体洗浄プロセスに使用される数多くの薬液種に対応可能です。

金属コンタミフリー

特殊カーボンを極材に使用しているため、金属コンタミの溶出の心配がありません。

ワイドレンジ対応

最大1000μS/cmまで測定可能です(温度補償する前の導電率の測定範囲)。

濃度換算機能

薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。

 

 
型式HE-960LC
測定レンジ0 - 1000 μS/cm (セル定数0.1/cm設定時)*
0 - 10000 μS/cm (セル定数1.0/cm設定時)*
繰り返し性セル定数0.1/cm1.0/cm
0 - 1000 µS/cm+/- 0.5% FS-
0 - 2000 µS/cm-+/- 0.5% FS
2000 - 10000 µS/cm-+/- 0.5% FS
0.0 - 100 deg.C+/- 0.5 deg.C

*温度補償する前の導電率の測定範囲

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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