HF-960EM

In-line Sensor & Auto Range Switching Concentration Monitor HF-960EM

半導体製造プロセス用 HF濃度計

半導体プロセスの清浄度基準に適合するフッ酸濃度モニターです。

接液部を完全PFAとし、サイズを極限まで絞り込んだセンサーを採用しています。HF濃度50%までのワイドレンジ測定にも対応可能で、半導体プロセスでの清浄度要求にマッチします。

 

COND薬液濃度

DC24V伝送出力接点出力RS-485単成分

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

ワイドレンジ対応

低濃度から高濃度(HF濃度50%まで)オートレンジ対応機能により、各ターゲット濃度において最適な測定パフォーマンスを実現します。

コンタミフリー

接液材質をPFAのみとしたクリーン構造のセンサーを採用しています。耐薬性のあるセンサーなので半導体プロセスで使用されるさまざまな薬液の測定にも対応可能です。

高安定性/再現性精度

FS ±0.5%の再現性精度を実現します。

濃度換算機能

薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。

型式HF-960EM
測定レンジHF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導電率: 0 - 2000 mS/cm
繰り返し性フルスケールの+/- 0.5% 以内(等価入力にて)
直線性フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以内(等価入力にて)
伝送出力出力点数:4点
接点出力出力点数:5点
接点入力入力点数: 2点
通信機能RS-485
電源DC 24 V +/- 10% 15W
適合センサCM-520 Series
接液部PFA

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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