HF-960H

HF / HCl Concentration Monitor HF-960H

フッ酸濃度モニター

低濃度から高濃度までのフッ酸・塩酸を測定する濃度モニターです。

耐薬性を備えた4極式カーボンセンサーを採用し、低濃度から高濃度までワイドレンジ測定が可能です。

 

COND薬液濃度

DC24V伝送出力接点出力RS-485単成分

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

ワイドレンジ対応

小数点自動変更によるHF濃度・HCl濃度%0.000~10.00%までのワイドレンジ測定が可能です。

耐薬性に優れたセンサー

センサーには耐薬品性の4極式ガラスカーボンセンサーを採用しています。

表示レンジ自動切換

高濃度から低濃度まで表示レンジを自動で切り替えします。また、有効な導電率分解能を維持しながら、変化をモニターすることも可能です。

4種類の測定に対応

HF濃度、HCl濃度、導電率、温度の4種類の測定に対応可能です。HF、HCl、については、それぞれの温度特性データに基づき温度補償測定します。その他の薬液でも導電率計として使用可能です。

濃度換算機能

薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。

形式HF-960H
周囲使用温湿度温度:5℃~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと)
電源DC24V ±10%  10W(max)
保護構造パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型)
質量約550g
適合規格CEマーキング、FCC Part15
適合センサFES-510シリーズ(流通型カーボンセンサ)

 

外形寸法図・他(単位:mm)

お問い合わせ

* 項目は必ずご記入ください。