HF-960M

Low Concentration Type HF/HCl/NH3 Concentration Monitor HF-960M

低濃度HF/HCl/NH3濃度モニター

低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアの高精度測定に最適な濃度モニターです。

耐食性に優れたセンサーにより、低濃度域のフッ酸・塩酸・アンモニアをそれぞれ高精度かつ高速応答で測定するので、ワンバス洗浄や枚葉洗浄に最適です。

 

COND薬液濃度

DC24V伝送出力接点出力RS-485単成分低濃度

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

5種類の測定に対応

HF濃度、HCl濃度、NH3濃度、導電率、温度の5種類の測定に対応可能です。HF濃度、HCl濃度、NH3濃度については、それぞれの温度特性データに基づき温度補償測定します。

低濃度HF濃度の高い再現性での測定

±25ppmの高再現性にて測定が可能です。表示分解能は0.5%に相当する5000ppm。低濃度化要求に対してppm表示にて対応します。

豊富な出力内容

各濃度の上限・下限のみならず濃度異常、異常サンプル測定出力など豊富な出力が可能です。(出力点数7点)

アナログ出力を濃度測定範囲で任意設定可能

測定レンジの0~200%の範囲内でアナログ出力レンジを設定することが可能なので、濃度値をより微細に出力することが可能です。

濃度換算機能

薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。

製品名低濃度HF/HCl/NH3濃度モニター
型名HF-960M
周囲温度−5〜45℃
相対湿度20〜85%(結露しないこと)
保存温度−25〜65℃
電源定格電圧 24V DC 10W(max)
外形寸法96(W)×96(H)×115(D) ケース奥行:約105mm(パネルマウント時)
質量約550g
適合規格CEマーキング、FCC Part15

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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