SEC-N100 系列

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

数字式质量流量控制器

SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列还支持各种通信模式,即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 。SEC-N100 系列提供高精度(+/- 1.0% 设定点 *1)和高速响应。该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能,可降低制程成本。

*1 不包括 SEC-N17X 系列

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事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 控制范围广,从微流到大量程(10 SCCM 至 1000 SLM)
  • 支持多种通信模式和电源
  • 高精度:+/- 1.0% 设定点 (*1)
  • 1 秒高速响应(*1)
  • 多气体/多量程功能
 
多气体/多量程系统使用户可以自由更改气体类型或满量程流量。

        

 

ModelsSelect communication modeSelect power supply
SEC-N102 series

Digital communication

▶RS485 F-NET Protocol

Analog communication

▶0〜5VDC

±15VDC(±5%)

HORIBA'S lineup includes leased power supply PE series.

SEC-N104 seriesDeviceNet™ communicationConforming to ODVA standards
SEC-N105 series

CC-Link® communication

Analog communication

▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA

Conforming to  CC-Link® standards 24VDC (13 to 32VDC)
SEC-N106 series

PROFIBUS™ communication

Analog communication

▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA

Conforming to PROFIBUS™ standards 24VDC(13 to 32VDC)
SEC-N107

EtherCAT® communication

Conforming to EtherCAT®  standards 24VDC

*1 不包括 SEC-N17X 系列

 

SEC-N100 规格

外形尺寸

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光伏制造过程的过程控制与现场测量
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功能玻璃干法镀膜过程中的等离子体发射控制与过程气体监测
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HORIBA 是专业气体和液体质量流量控制器制造商,拥有一系列模拟、数字和高温质量流量控制器以及使用点液体源汽化控制和输送系统。
药品和药品制造中冷冻干燥干燥设备的真空监测
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气体质量流量控制与测量和对 PM2.5 参考值的测量
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用于实验室研究与测试的气体质量流量控制器
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