VCC-100

VCC-100

蒸汽浓度控制器

液体和固体的气体输送方法之一就是鼓泡法。鼓泡法广泛应用于化学气相沉积制程。通过应用 NDIR 技术和 HORIBA 开发已久的阀门技术,VCC-100 可以在鼓泡器下游保持恒定的浓度,以满足先进制程控制时代的行业要求。

点击此处 查看 HORIBA's Chemical Concentration Control methods.

事业部: 半导体
产品分类: 干法制程控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

易安装

  • 只需将现有压力控制器更换为 VCC-100

 

占地空间小

  • 除压力控制器外,长度仅 50 mm

 

易用

  • 只需设定目标浓度
  • 无需连接到其他组件(例如,质量流量控制器)

 

2 种控制模式

  • 浓度控制:VCC-100 可用作浓度控制器
  • 压力控制:VCC-100 可用作提供浓度输出的压力控制器
ModelVCC-110VCC-120
Cell Length5mm50mm
Target ChemicalsTMGa, DEZn, IPATMIn, TMIn, TEGa, TMGa, TMAI, DEZn, IPA
Target Flow Rate0.3 - 10 SLM
Operating Pressure30 - 300 kPa
Cell Temperature60 degree C
Fitting1/4 VCR male
CommunicationAnalogue / Digital, DeviceNet
Power Requirement

+/-15 v DC (Analogue/Digital)

24 v DC (DeviceNet)

Heater Power200 - 240 v AC
Dimensions155 x 59 x 140 mm
蒸汽浓度控制
蒸汽浓度控制
目前的半导体工艺需要原子尺度的工程。虽然气体可以通过质量流量控制器 (MFC) 精确控制,但有必要澄清汽化液体或固体前驱体的现象。前驱体递送不稳定会引起工艺变化,影响制造成品率。

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