*株式会社堀場製作所
最近の超LSI半導体製造工場で洗浄行程で用いられる超純水や薬品類は、その中に含まれる微粒子の大きさと個数の厳密な管理が不可欠となっている。液体中の微粒子を評価する技術は、従来は光学顕微鏡や電子顕微鏡を用いる方法があったが、これらは煩雑で時間がかかり、また熟練を要するという欠点があった。当社では、簡便で迅速な測定が可能なオンライン型の半導体製造プロセス用液体中微粒子計測装置(PLCAシリーズ)を開発した。本稿では、液体中微粒子計測装置の概要と測定原理を述べ、より小さい微粒子を測定するための技術要素、さらに校正方法などについて紹介する。特に高感度化に関しては、光電子増倍管のシングルフォトンパルスの信号成分の数と背景光の数のゆらぎの関係について述べる。