HORIBAは、多岐にわたる独自の制御・計測・分析ソリューションで
半導体産業に関わる研究から製造プロセス、環境管理までをトータルにサポートいたします。
多くのマスク製造工程・リソグラフィー工程で高く評価されている異物検査装置PD Xpadion。EUVレティクル・BEOLレティクル・EUVペリクルの異物検査事例や、新たに搭載した新機能をご紹介します。
持続可能な社会を実現するためには、半導体デバイスの低消費電力化が大きく貢献する一方、半導体製造プロセスにおける環境負荷を低減することが重要な課題となっています。デバイスの歩留まり向上に加えて、環境負荷低減にも貢献できる各種ガスモニタリング技術とそれらの適応事例についてご紹介します。
半導体デバイスの製造プロセスで使用される高機能な薬液やスラリー。それらの製造工程では品質管理、工数低減、環境負荷低減が課題となっています。薬液開発や製造におけるHORIBAの計測技術をご紹介します。
＜出展製品（一例）＞
工業用無補充式セルフクリーニングpH電極
6122シリーズ
＜出展製品（一例）＞
顕微ラマン分光装置
LabRAM Odyssey
＜出展製品（一例）＞
【Coming soon】レティクル/マスク
異物検査装置 PD10-EX
・HORIBAブースNo.4808（東4ホール）
・会場：東京ビッグサイト（東京国際展示場）東展示棟1～8ホール
