環境適合設計

長寿命や省エネルギーなど、ライフサイクルを考慮した製品を社会に送り出すために、社内基準をクリアした製品を環境適合製品と位置づけ、新製品開発時に適用しています。昨今のエネルギーコスト上昇などの社会情勢を踏まえ、特に省エネルギーや省資源といったテーマについては定量評価を実施し、従来機種比25%以上の削減率を目標とした環境適合設計を行っています。

ハンディ光沢計 グロスチェッカー IG-340は、測定対象面の表面光沢を現場で瞬時に測る装置です。あらゆるモノやカタチの外観に付加価値を与える「光沢」を、簡単に評価、管理することができます。

IG-340は、従来機種であるIG-320との互換性を重視しつつ、シンプルな操作ボタンや見やすい液晶ディスプレイを採用することで、より直感的に使用することが可能となりました。

光学系の制御部分を含めて、回路設計を見直したり、電源を9V電池から単三電池2本へ変更したことにより、消費電力約44.4%削減を達成しました。また、持ちやすい形や重さにこだわってIG-340専用の金型を設計し、製品重量 32.1%削減を達成しました。

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キャパシタンスマノメーター VG-527は半導体製造プロセス、その中でも主にCVD^*1やALD^*2といった成膜プロセスにおける圧力測定に用いられます。これらの成膜プロセスでは低蒸気圧材料が多く用いられているため、安定した圧力測定を維持するためには、センサーが正確に温調され材料の結露や熱分解を防ぐ必要があります。

VG-527は断熱・放熱構造を工夫することにより、センサー温調精度を向上することが出来ました。また材料特性に応じて、ユーザーが200℃までの範囲で温調温度を任意の温度で指定できる仕様とすることで、センサーの長寿命化を達成しメンテンナンスコストの大幅な削減につながりました。

*1: Chemical Vapor Deposition（化学蒸着）：さまざまな物質の薄膜を形成する蒸着法
*2: Atomic Layer Deposition（原子層堆積法）気相の連続的な化学反応を利用した薄膜形成技術

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非接触型薬液濃度モニター CS-900は、半導体製造プロセスでも重要な洗浄プロセスの薬液濃度を測定するモニターです。薬液に直接触れることなく配管上から測定することができ、薬液の汚染リスクゼロを実現しました。
本製品では、センサーの光学系を一新することで従来製品と同等の再現性、安定性を有しながら、半導体ウェハの洗浄装置内における薬液濃度モニターの専有面積を削減。小型化を実現しました。

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