環境適合設計

長寿命や省エネルギーなど、ライフサイクルを考慮した製品を社会に送り出すために、社内基準をクリアした製品を環境適合製品と位置づけ、新製品開発時に適用しています。昨今のエネルギーコスト上昇などの社会情勢を踏まえ、特に省エネルギーや省資源といったテーマについては定量評価を実施し、従来機種比25%以上の削減率を目標とした環境適合設計を行っています。

本製品は10mm幅サイズの最先端プロセス向け高性能マスフローモジュールです。近年の半導体製造プロセスで求められているガスパネルの小型化・軽量化、ガスラインの多系統化に貢献する製品です。
本製品は、従来製品の計測原理や流体制御技術を継承しつつ、超薄型のボディの中に、センサーをはじめとする多数の精密な部品を搭載する必要がありました。
そこで、従来製品の機能を維持しながら、小型化するための要素開発を行うことで、製品幅を従来製品より65％減の10mmにまでサイズダウンを実現、重量は75％の削減を達成しました。加工部品の材料資源の使用量低減にも繋がり、環境に配慮した製品開発を行うことができました。

・製品ページ

本製品は、半導体製造プロセス、主に3次元NAND型フラッシュメモリーの製造工程で使用されるリン酸薬液の濃度を測定するモニターです。
従来製品では高温のリン酸を冷却して濃度を測定する必要がありましたが、本製品ではサンプル測定部の改良により、従来製品と同等以上の再現性と安定性を有しながら、高温のままリアルタイムで薬液濃度の測定が可能になりました。これにより冷却機構が不要となり、装置内に占める専有面積を削減することができました。

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