機能性材料/先端材料

分光エリプソメーターによる金(Au)薄膜の分析 ▶

金属の光学定数(n&k)には多くの文献値が存在しています。しかし実際に作製した金属のn&kの値は状態によって大きく変わり、文献値とは異なることが殆どです。特に膜厚が約10nm以下になると、n&kの値は全く違う材料になってしまったかのように大きく変化することがあります。ここでは金(Au)薄膜を例にして、n&kが膜厚によってどのように変化するかについて紹介しています。

分光エリプソメーターによるカーボンナノチューブ(CNT)の測定例 ▶

カーボンナノチューブ(CNT)はカイラリティによって、金属的あるいは半導体的になるといったように物性が変化します。分光エリプソメーターではネットワーク（膜）にしたCNTを測定することが可能であり、得られた光学定数（屈折率(n)、消衰係数(k)）の波長分散より、このCNTの物性がわかります。CNTは軽量・高強度・柔軟で、導電性や熱伝導性が高いなどといった特性を持つことから、エネルギー、エレクトロニクス、バイオライフサイエンスなど、多様な分野で使われております。分光エリプソメーターにより膜にしたCNTが、金属的か半導体的かが分かることで、CNTの物性が定性的に分かり、狙ったアプリケーションに適切な膜であるかを確認することができます。本アプリケーションノートでは、膜状にした物性が異なるCNTの測定について紹介しています。

分光エリプソメーターによるDLC膜の評価 ▶

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）薄膜はダイヤモンドとグラファイトの中間に位置する材料です。さまざまな手法で作製でき、多様な構成や構造、物性を有するものが存在します。そのため、用途も幅広く、高硬度や耐摩耗性に加えて、低摩擦係数や耐食性、ガスバリア性などが着目され、工具や光学部品の金型、各種摺動部品、医療関係材料などの分野への応用が広がっています。このようなさまざまな物性の中から、欲しいDLC膜、用途にあったDLC膜を選択することや、作製すること、管理するためには、DLCの構造や物性の評価が非常に重要です。ここでは、用途の異なる3種類のDLC膜の分光エリプソメーターによる評価例を紹介します。