*株式会社堀場製作所
本稿では、新たに開発した超高純度シリコン結晶を用いた室温保管型シリコン半導体X線検出器(ゼロフィーと命名)について解説する。本検出器では、液体窒素による冷却は、検出器を使用するときにだけ行えばよい。これにより、従来のリチウムドリフト型シリコン半導体X線検出器の大きな欠点であった保管時を含めた液体窒素による連続冷却の必要性を解消できた。まず、シリコン半導体X線検出器の構成・動作原理や製作方法を説明する。さらに、ゼロフィーの諸特性について、温度サイクル試験の結果とともに紹介する。