エネルギー分散形X線マイクロアナライザを使った粒子の分析

*株式会社堀場製作所

電子顕微鏡の普及にともないエネルギー分散形X線マイクロアナライザは、金属、セラミックス、半導体などの材料分野だけではなく、品質管理の分野などにおいても広く利用されてきている。最新のエネルギー分散形X線マイクロアナライザEMAX-2770Type-Pは、従来の定性、定量、X線マッピングに加えて、X線画像処理、粒子解析の機能を備えている。本稿では、粒子の分析にEMAXを用いた時の特長について述べ、元素分析および粒子解析の分析例を紹介する。