微粒子計測関連製品の現状と課題

*株式会社堀場製作所

目ざましい発展を続けている新素材や半導体の分野では、扱う材料の微細化がますます進み、研究開発から生産まで全てにわたり微粒子の計測・管理が非常に重要な課題になっている。本稿では、微粒子の特徴と計測上の問題点を考察し、当社の粒度分布測定装置、パーティクルカウンター、X線マイクロアナライザなど粒子計測に関連する製品群の現状と技術的課題を述べる。