*株式会社堀場製作所
産業技術の高度化に伴い、半導体工場など先端技術の現場ではさまざまな液体の中の微粒子の大きさと濃度の管理が必要となっている。これらの現場で使用される薬液は酸・アルカリ・有機液体など種類が多く、物性もそれぞれ異なり、これが薬液中の微粒子計測を困難なものにしている。一方、管理濃度が低くかつ大量の試料の迅速処理が必要となってきた今日、ろ過を基本とする従来の測定方法では多くの問題があった。当社では、レーザ側方散乱法を測定原理とした薬液用微粒子カウンターPLCA-700シリーズを開発・製品化した。本稿では、本装置の概要と測定原理を述べ、併せて校正方法についても紹介する。