半導体業界における化学汚染制御技術

*1株式会社ダン・タクマ、*2株式会社堀場製作所

株式会社ダン・タクマはHORIBA グループとの契約により半導体業界向けに化学汚染（AMC：Airborne Molecular Contamination ）制御技術の一環として、AMC 監視用連続微量測定機器“DT アナライザ”を販売することとなった。本稿ではクリーンルーム空気中の化学汚染計測を含めた化学汚染制御全般についてその概要を述べる。