Infrared Thermometer for Semiconductor Production Equipment IT-470F-H
半導体製造装置のエッチング工程における温度測定に特化した放射温度計「IT-470F-H」を開発した。放射温度計のコアとなる赤外線センサーは、自社のMEMS技術を駆使して製作したものであり、従来機のセンサーに比べて感度・応答時間が向上した。この赤外線センサーの採用により、温度測定の再現性（繰り返し性）の値が0.1℃（対象物温度23℃のとき）と従来機と比較して3分の1に大幅に性能が向上し、環境温度の過渡温度変化に対する指示値も安定した。
We developed an infrared thermometer “IT-470F-H” specialized for the dry etching equipment. The infrared sensor which is the core technology of the infrared thermometer is developed utilizing our original MEMS technology. Our MEMS infrared sensor has higher responsivity and shorter response time than the conventional sensor. With our MEMS sensor, the repeatability improves to 0.1 °C which is one-third of the conventional one. Furthermore, the stability to transient change of ambient temperature improves very well.