- CRITERION D500シリーズ -
Technology for Supporting Cutting-Edge Processes - CRITERION D500 series -
近年，半導体プロセスの微細化，ウエハの大口径化の流れに伴い，ガス供給システムに対して高性能化が求められており，圧力式マスフローコントロールモジュールD500を開発した。D500は、流量計測部に層流粘性流量域における差圧流量計測方式を採用している。そのため，プロセスガスにおいて高精度な流量計測と幅広い流量域での流量制御が実現可能である。また，プロセスガスの流量変化を診断するG-LIFE機能を搭載しており，プロセス中に判定することが出来るようになった。これにより，マスフローコントロールモジュールの故障による半導体ウエハの仕損を最小限に抑えることができ，次世代プロセスに要求される自己診断機能を有したマスフローコントロールモジュールとなった。
Recently, high performance gas supply system is required with the miniaturization of semiconductor process and a large diameter of the wafer. We have developed pressure-based mass flow control module D500.D500 has adopted a differential pressure flow measurement system in the laminar viscous flow rate range of the flow rate measurement unit.Therefore, it is possible to flow control in a wide range and flow measurement with high accuracy. Also, D500 has G-LIFE function to diagnose a change in the flow rate of process gas. It is possible to check during the process. And it is possible to minimize scrap of the semiconductor wafer due to the failure of the mass flow control module. Mass flow control module with G-LIFE performance required for the next generation process is completed.