-差圧式液体デジタルマスフローメーター -
XF-100 series - Pressure base Liquid Digital Mass Flow Meter -
半導体デバイスの高性能化、工程の効率化、生産性の向上に対応すべく、四半世紀ぶりに、計測方式を一新した、圧力式マスフローメーターのXF シリーズを開発した。XFシリーズはオイルフリーで安全な静電容量式の圧力センサを搭載し、5 g/min以上の流量レンジにおいても、流路はシングルパス構造が搭載可能になった。これにより、気泡滞留による流量誤差も低減できる。また、センサ直線性向上、ハイテク材料の物性値を用いるため、精度±0.8%F.S.を実現。従来品に比べて20%向上した。応答性についても、0.8 sec以内の速度を実現し、高速化により流量が安定するまでの時間が短縮され、高価なハイテク材料の使用量低減に貢献します。
We have developed XF series of pressure type mass flow meter in order to meet higher performance of semiconductor devices, the efficiency of the process, to improve productivity after an interval of approximately four half a century. XF is equipped with pressure sensor of electrostatic capacitance type and with single flow pass in the flow range of 5 g / min or more. Also XF realized ±0.8% of precision to use physical properties and to improve sensor linearity. Improved by 20% compared to conventional precision. In addition,XF obtained results under 0.8 second of response time. By speedup of response time we contribute to reduce usage of expensive precursor.