Pressure-Based Mass Flow Control Module CRITERION D507 Series
株式会社 堀場エステック
開発本部 開発設計部
近年，IoTによる半導体デバイスのアプリケーションの増加に伴い，最先端の半導体工場に於いては装置のダウンタイムを最小にすることが重要課題である。このため，半導体工場の現場では装置やコンポーネントの不具合の事前検知を目的に，半導体プロセスの管理項目の増加や管理規格の厳格化が行われている。こういった状況に対して，マスフローコントロールモジュールは，要求される管理基準を満足するため，プロセスガスの流量精度及び個体間器差の向上，圧力変動の影響を受けにくい流量制御に加え，高速通信，不具合発生前の早期異常検知といった機能が求められている。D507シリーズは近年の半導体工場におけるコンポーネントの厳しい管理に対応すべくD500シリーズに追加ラインナップされた製品である。
Recently, with the increase of application of a semiconductor device according toIoT, the latest semiconductor factories are focusing to minimize the downtime ofthe apparatus. Therefore, for the purpose of failure pre-detection ofsemiconductor tools and its components, the managed parameters ofsemiconductor process are increased, and its specification is getting tighter. Inorder to satisfy the required control criteria, the mass flow control module isrequired to have high-speed communication and failure pre-detecting function aswell as flow rate accuracy and reproducibility, inlet pressure insensitivityperformance. D507 series is lined up on D500 series to meet strict managementat recent semiconductor factory.
