株式会社 堀場エステック コーポレートオフィサー 開発本部長
1980年，堀場エステックは日本初の純国産マスフローコントローラ（以下MFC）を上市しました。その後，SEC-400シリーズ，SEC-4400シリーズといったMFCがリリースされ，世界各国の半導体製造装置メーカー，半導体デバイスメーカーのお客様にその性能と品質が認知されるようになり，これまでそれぞれの時代に合った半導体プロセスに求められるMFCを継続して開発，製品化しています。今日，堀場エステックの半導体プロセス関連の製品群はMFCだけにとどまらず，プロセスチャンバー周辺で使用される流量，圧力，濃度等の測定，制御に用いられています（Figure 1）。また近年は，単なる部品，コンポーネントだけではなく，お客様にソリューションを提供すべく，モジュールやサブシステムの形で提供されている製品も増加しています。
