太陽電池製造工程で用いられる薬液とその計測

中井 陽子, 植田 恭弘 | |   37

太陽電池は,近年クリーンエネルギー源として注目をされており市場は活況である。その製造工程において,ウェットプロセスは品質とコストを左右する重要な技術である。主に使用されているウェットプロセスと,そのモニタリングの特色および今後の展望について述べる。


Photovoltaic (PV) cells have been attracting the attention as the source of clean energy, and its market is drastically rising now. In its manufacturing processes, wet process is the key technology for it’s quality and cost. In this paper, the main wet processes, the monitoring for them and the prospect of the wet process monitoring is described.