新製品紹介：超薄型マスフローコントローラの開発

近年の半導体製造プロセスにおいて，微細化技術やウェハの個体差軽減による品質向上の流れに伴い，ガス供給システムの高性能化が求められている。具体的には，マスフローコントローラ（MFC）の搭載台数を増やすことや，プロセスチャンバーの近傍にMFCを設置することが検討されており，それに伴いガス供給システムの小型化が必要になっている。当社では，これら要求に対応可能な10 mm幅MFCを開発しており，本稿ではその製品説明及び応用技術について紹介する。