半導体やFPD（Flat Panel Display），太陽電池，LED（Light Emitting Diode）などの製作に用いられる製膜プロセスやエッチングプロセスでは，様々なガスが用いられるとともに，プロセス圧力は製品品質に大きな影響を与えるため，ガス依存性がなく耐食性に優れた高精度の真空計が必要とされる。我々はこのような要求に応えるため，静電容量型の隔膜真空計である「VG-200シリーズ」の開発を行い，その性能を評価した結果，非常に優れた再現性と安定性を確認することができた。ここではVG-200の製品特徴と性能評価結果の詳細について報告する。