カーボンの耐薬品性を活かした，電気伝導率用の2極センサを2002年に開発した。このセンサは，半導体プロセスにインラインセンサとして取り付けられ，濃度計として実用化されている。さらに高濃度用4極式センサと4極電気伝導率測定用に，新しい回路を設計した。この回路は，4極式のあらゆるセンサに対して，精度よく適用できる。フッ酸，TMAHなどの単成分の濃度は，精密な電気伝導率と温度測定を元にして，個別の温度補償演算を経て，濃度変換される。エッチング，現像などに用いる溶液は，濃度を一定に管理する必要があり，電気伝導率方式を応用した各種の濃度計に対する需要が高まっている。