半導体ウエットプロセスで使用される薬液用（HFおよびTMAH水溶液）の溶存酸素濃度計（HD-960L）を製品化した。センサはポーラログラフ式を採用し，低濃度の応答を良くするためにガード極を設けた。内部電解液量の濃度の最適化と，ガード極への電流制限抵抗の配置により，高温溶液測定と内部電解液の長寿命化を実現した。評価試験の結果，飽和溶存酸素の信号は，薬液の濃度を変化させても影響がないこと，低濃度での濃度変化に対する応答が十分速く，信号は濃度に対して直線的であることが確認された。センサを装着するフローチャンバは，スターラを装着し，低サンプル流量でも溶存酸素を安定に測定できるようにした。