半導体デバイスの微細化，高集積化に伴い，ガス流量・液体材料の供給量に対する高精度化や信頼性向上への要求が高まりつつあり，流量計測・制御機器であるマスフローコントローラの高精度化，信頼性向上が必要である。京都福知山テクノロジーセンターでは流量標準器の自社開発，ISO/IEC 17025認定取得およびプロセスガス流量測定の標準化といった流量標準技術の確立を目指している。本稿では流量計測・制御機器であるマスフローコントローラの高精度化，信頼性の向上に必要な流量標準・標準化技術の確立についての取組みを紹介する。