XGT-5000の開発

駒谷慎太郎* 大澤澄人* | |   30

*株式会社堀場製作所

X線分析顕微鏡XGTシリーズは、非破壊・前処理不要で微小部の元素分析・元素分布分析及び内部構造観察などが簡便に行える装置である。50周年記念製品のXGT-5000では、X線分析顕微鏡のキーデバイスとなるX線導管の開発を進め、従来比20~50倍の高輝度化を実現した。更に光学像観察システムの改良やソフトウェアの改良などで大幅に操作性を向上させた。生体分析や考古学試料分析などの研究用途から異物分析や不良解析といった品質管理用途、あるいはWEEE/RoHS、ELV規制に対応した高感度有害元素分析など幅広い分野で使用されその発展に大きく貢献している。