シリコンは半導体のみならず，近年では太陽電池用の材料として注目されている。シリコン中には酸素や炭素といった不純物が存在し，これらの元素はその電気的性質に影響を与えることが知られており，微量域での管理が重要となっている。酸素・窒素分析装置EMGAシリーズ及び炭素・硫黄分析装置EMIAシリーズは，迅速かつ高精度で微量域の測定が可能な装置としてその地位を確保しており，長い歴史の中でさまざまなアプリケーション開発も同時に行なわれてきた。本稿ではそのアプリケーションの一例として，太陽電池用シリコンの酸素と炭素の分析方法について紹介する。