半導体デバイス製造プロセス用フッ化水素酸濃度モニタ CM-100シリーズ -電気伝導率ではかる-

*株式会社堀場製作所

ますます高密度化が進む半導体デバイスの製造プロセスでは、各種の計測機器を使った工程の厳密な管理が一層重要になっている。中でも、ウエハの洗浄工程に用いられるフッ化水素酸濃度モニタはデバイス製造の歩留まり維持・向上のために不可欠なオンライン計測器となっている。本稿では、当社の電気伝導率式のフッ化水素酸濃度モニタCM-100シリーズの測定原理・特長・応用例などを紹介する。