*1株式会社堀場製作所、*2株式会社エステック、*3三菱商事株式会社
半導体デバイスの製造プロセスで使われるシランガス(SiH4)、ホスフインガス(PH3)の濃度を連続的に測定する小型のインラインガスモニタIR-100を開発した。IR-100の分析部は、点滅型の光源、デュアルタイプ2波長焦電検出器などを適用することにより、80mm(W)×35mm(D)×152mm(H)とガス配管系への直結が容易な形状とすることができた。IR-100はガス濃度の監視・ガスパージの終点検知などによる半導体プロセスの生産性の向上はもちろん、ボンベの誤接続の予防など安全の確保にも役立つものと期待されている。本稿ではIR-100の仕様・測定原理・特長的な機能について述べる。