軽元素用液体窒素レス半導体X線検出器

*株式会社堀場製作所

液体窒素による冷却の必要が全くない軽元素用液体窒素レス半導体X線検出器を開発した。この検出器は超高純度シリコン素子、大気圧に耐える軽元素用X線窓材およびパルスチューブ方式の高性能冷凍機などの要素技術を使用し実現した。本稿ではこれらの要素技術と得られた性能を紹介する。