強誘電体薄膜研究の最先端における計測・制御

舟窪 浩* | |   22

*東京工業大学

“究極のメモリFRAM研究開発の最前線は今、どうなっているの?”こんな素朴な疑問をテーマに東京工業大学の舟窪浩先生にご講演頂いた。強誘電体メモリ(FRAM)はなぜ次世代の夢のメモリと言われるのだろうか?材料はPZT or SBT?薄膜化法はPVD or MOCVD?その低温化の決め手は?さらに、これらを支援・リードする計測・制御技術の今後の課題は?などなど。日に日に進む強誘電体薄膜研究の最前線で次々と新たな成果を発信されている舟窪先生は、「専門分野を越えた研究者・技術者達のグローバルなアライアンスこそが21世紀を生き抜くためのキーワードだ」と計測機器メーカへの期待を熱く語られた。