*1株式会社堀場製作所、*2Oxford Instruments plc.
近年、鉄鋼・セラミックはもちろん生体や食品などあらゆる分野で材料中の元素組成を正確に把握したいというニーズが急増し、蛍光X線元素分析装置が注目されている。市場の拡大に伴い、前処理なしで非破壊分析が可能であるという蛍光X線分析法固有の特長に加え、特に誰もが手軽に扱える分析装置が求められている。HORIBAはEDXRF法をベースとし使い易さを徹底的に追求した元素分析装置MESA-500シリーズを製品化した。また、オックスフォード・インストゥルメンツ社はEDX法とWDX法の両方の機能をコンパクトにまとめた元素分析装置MDX1000シリーズを製品化している。本稿ではそれぞれの装置の特長・応用例などを紹介する。