サイクロン式集塵装置PY-3000

|   28

クリーンルーム内の環境は時間の経過に伴い変化するが、ダストの確認がしにくいことにより清浄化作業も困難で、また発塵の対象や内容の情報不足から製造工程内にダストが滞留し歩留まりの向上を妨げてきた。サイクロン式集塵装置PY-3000は、単独で、またパーティクルアナライザDP-1000のサンプリング装置としても使用され、クリーンルームダスト解析を手軽にしこれまで不明であったダスト発生の原因究明に役立ち歩留まり向上につながる。PY-3000はサイクロン方式を採用しており、大流量の吸引を行うことにより粒子の濃縮が可能で感度良く検出できる。またパーティクルカウンタを内蔵しているのでパーティクルのカウントによる発塵の経時変化を見ることができる。