トレンチ深さをリアルタイムにモニタする偏光カメラ

*Jobin Yvon S.A.S

マイクロマシニングの分野では溝（トレンチ）の深さを正確に計測できるリアルタイムモニタが求められている。ジョバンイボン社では、干渉計を応用したエッチングモニタツイン・スポット干渉計に続き新しくトレンチ深さを正確にリアルタイムにモニタすることができる偏光カメラを開発した。本稿では測定原理及びエッチングとパッシベーションを繰り返すボッシュ・プロセスでの実装試験結果を紹介する。