*株式会社エステック
300 mmウエハ半導体デバイス時代に入り半導体製造装置の導入には高性能・高信頼性・低コストが要求されている。ガス供給のキーパーツであるマスフローコントローラにも同様の厳しい要求がある。本稿では半導体プロセスの生産性向上のために開発しているSEC-Z500シリーズの特長について、（1）SEMIスタンダード（2787.1）すべてに対応できる外形寸法、（2）マルチガス・マルチレンジ対応、（3）高精度流量保証、（4）全領域での応答速度高速化、（5）トラブル予知モニタリング機能内蔵を取り上げて解説する。