薄膜事業部の製品と技術

*Jobin Yvon S.A.S

ジョバンイボン社（JY）の薄膜事業部は、分光エリプソメトリ、発光分光、イメージング干渉法などの先進光学技術を駆使して、薄膜物性の解析・評価装置や半導体プロセス用in-situ計測機器の研究・開発及び生産を担当している。JY製品の競争力は長い歴史に裏付けられた光学技術・解析理論・データ管理などハード・ソフト両面の独創性に基づくものである。本稿ではJY薄膜事業部の製品・技術の概要と特長を紹介、説明する。