静電容量型ダイアフラム真空計VGシリーズ

*株式会社エステック

エステックでは、2003年3月より半導体製造プロセスや各種真空装置の圧力制御技術を総合的に提供可能にするため、アメリカFerran Scientific Inc.と提携し静電容量型ダイアフラム真空計（Capacitance Diaphragm Gauge）VGシリーズの生産・販売を開始した。本稿では、今後HORIBAグループの半導体ビジネスにおいてキーコンポーネントとなるVGシリーズについて、その計測原理から特徴的な生産技術・製品紹介を中心とした構成で述べる。