一般論文 : SEMを用いた原子分解能ホログラフィー:逆X線光電子ホログラフィー

上坂 彰朗、林 好一、松下 智裕、新井 重俊 | |   40

逆X線光電子ホログラフィー(Internal-Detector Electron Holography)とは,走査型電子顕微鏡(SEM)を用いた原子分解能ホログラフィーである。本技術を用いることで,実験室レベルで容易に特定原子周辺の局所構造解析が可能になる。本項では,逆X線光電子ホログラフィーの原理と標準試料の測定結果(バルク試料:SrTiO3,薄膜試料:Pt)について述べる。

Internal-Detector Electron Holography, which is one of the Atomic Resolution Holography, can be proved with Scanning Electron Microscope. With Internal-Detector Electron Holography, we can analyze the local structure around the specific atoms in the laboratory. In this paper, I explain the theory of Internal-Detector Electron Holography and the measurement results of a bulk sample (SrTiO3) and a thin film sample (Pt).